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专利名称：一种OLED显示面板生产用新型精细金属掩膜版及
制作方法
专利类型：发明专利
发明人：杜卫冲,韩建崴,梅文辉申请号：CN201310400757.5申请日：20130905公开号：CN103451598A公开日：20131218
摘要：本发明公开了一种OLED显示面板生产用新型精细金属掩膜版及制作方法，其中装置包括在金属基板上设置多个通孔形成的边框，在边框的上表面电铸有一层精细掩膜从而使精细掩膜与边框结合为一体，所述精细掩膜划分有精细结构部分形成的图形区域和边框区域，所述图形区域与边框上的通孔相对应。而且制作方法步骤如下：A.准备金属基板：将因瓦合金板或不锈钢板开料，使之符合设计尺寸，形成金属基板。B.制作精细掩膜：在金属基板上涂覆光阻层，将需要的图案显影在金属基板上的光阻层，再依次电铸上金属衬底层和热膨胀系数低的金属层，形成掩膜版的精细掩膜。C.腐蚀基板：在精细掩膜上划有图形区域，通过化学刻蚀的方法将图形区域背部对应片区的金属基板腐蚀掉，形成通孔，留下外部边框和内部分隔框，使外部边框和内部分隔框共同支撑起精细掩膜。
申请人：中山新诺科技有限公司
地址：528400 广东省中山市火炬开发区明珠路3号之一
国籍：CN
代理机构：中山市科创专利代理有限公司
代理人：钟作亮
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