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专利名称：偏振移相双剪切干涉波面测量仪专利类型：实用新型专利
发明人：王利娟,刘立人,栾竹,孙建锋,周煜申请号：CN200720075604.8申请日：20071019公开号：CN201083544Y公开日：20080709
摘要：一种偏振移相双剪切干涉波面测量仪，该测量仪的构成是沿光束的前进方向依次包括：第一雅敏平行平板、左下楔形光学平板、左上楔形光学平板、右下楔形光学平板、右上楔形光学平板、第二雅敏平行平板、偏振移相器、成像镜组和图像传感器，该图像传感器的输出端接计算机。本实用新型不仅保持了双剪切干涉波面测量仪的所有特点，而且具有灵敏度高、能精确测量任意对称波面并给出完整波面轮廓等优点。
申请人：中国科学院上海光学精密机械研究所
地址：201800 上海市800-211邮政信箱
国籍：CN
代理机构：上海新天专利代理有限公司
代理人：张泽纯
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