一种波导器件高精度自动对准封装的机械装置

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN200910042650.1 （22）申请日 2009.02.13 （71）申请人 中南大学

地址 410083 湖南沙市麓山南路1号

（10）申请公布号 CN101498816A

（43）申请公布日 2009.08.05

（72）发明人 段吉安;郑煜

（74）专利代理机构 长沙市融智专利事务所

代理人 邓建辉

（51）Int.CI

G02B6/36;

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

一种波导器件高精度自动对准封装的机械装置

（57）摘要

本发明公开了一种集成光子芯片与阵列光

纤自动对准的机械装置，在底板(100)上设有中间运动平台(200)，在所述的底板(100)上设有以所述的中间运动平台(200)左右对称分布的两个六维高精度宏动平台和两个三维高精度的微动平台。本发明设有六维宏动平台以及其紧凑、合理的结构布局，结合高精度的微动平台可有效应用于要求高精度对准的各种平面波导的对准和封装，并

且可方便扩展IR－CCD、机器视觉、点胶装置、UV固化装置等外设设备，且操作方便，运动范围大，精度高。

法律状态

法律状态公告日

2009-08-05 2009-09-30 2011-04-13

法律状态信息

公开

实质审查的生效

发明专利申请公布后的视为撤回

法律状态

公开

实质审查的生效

发明专利申请公布后的视为撤回

权利要求说明书

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说明书

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