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专利名称：一种粒子群算法优化的快速光学图形修正方法专利类型：发明专利发明人：薛敬
申请号：CN201910633247.X申请日：20190715公开号：CN110472284A公开日：20191119
摘要：本发明公开了一种粒子群算法优化的快速光学图形修正方法，利用粒子群算法去优化求解一个局部区域内所有线段的最佳法向修正值，包括以下具体步骤：步骤1：半导体电路设计原始数据；步骤2：多边形依据边分段；步骤3：取出一个多边形相邻的线段；步骤4：计算各个线段的目标光强点；步骤5：随机初始化每个线段法向位移值作为一个解；步骤6：进行迭代；步骤7：得出判定值；步骤8：如果结果满意，结束迭代，否则，继续进行迭代。通过上述方式，本发明改变局部点的计算模型和多个点进行修正，在同样环境建立的光学模型下，能和国外主流软件修正结果基本一致，误差在2nm以内，达到了精度高和快速高效的效果。
申请人：苏州悦谱半导体有限公司
地址：215000 江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道1355号国际科技园内9A3-A6单元
国籍：CN
代理机构：苏州广正知识产权代理有限公司
代理人：朱春红
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