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专利名称：一种激光干涉仪专利类型：实用新型专利发明人：张白,孔德超,张家坤,郑忍申请号：CN201920577414.9申请日：20190425公开号：CN209559122U公开日：20191029
摘要：本实用新型涉及一种激光干涉仪，包括：激光源，用于发射激光束一，且激光束一入射至分光镜；可随被测物体同步移动的移动反射镜，包括至少两个三角反射镜组二，所述至少两个三角反射镜组二沿被测物体的移动方向的垂直方向依次分布；静止反射镜，包括至少一个三角反射镜组三，所述至少一个三角反射镜组三沿被测物体的移动方向的垂直方向依次分布；经三角反射镜组一反射的激光束二与经三角反射镜组二反射的激光束三分别入射至分光镜，形成干涉光束。通过激光束三在多组三角反射镜组二与三角反射镜组三之间的往复反射，提高了被测物在同位移量下光程变化量，增大了干涉信号变化量，提高了位移放大倍数，从而提高了位移检测精度。
申请人：北方民族大学
地址：750021 宁夏回族自治区银川市西夏区文昌北路204号
国籍：CN
代理机构：北京市领专知识产权代理有限公司
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