专利内容由知识产权出版社提供
专利名称:采用无色散相移器的全场光学相干层析成像系统专利类型:发明专利发明人:丁志华,杨亚良,吴凌申请号:CN200610052451.5申请日:20060713公开号:CN1887219A公开日:20070103
摘要:本发明公开了一种采用无色散相移器的全场光学相干层析成像系统。光源发出的光依次经准直透镜、宽带分光棱镜、偏振片、无色散相移器和宽带偏振分光棱镜后被分成两路:一路经显微物镜到参考镜,显微物镜和参考镜装在精密电控平移台上;另一路经另一显微物镜到样品,另一显微物镜装在压电陶瓷驱动器上。在宽带分光棱镜反射从参考镜和样品返回光的一侧,经成像透镜接面阵CCD探测器。无色散相移器设置在宽带分光棱镜与宽带偏振分光棱镜之间,获得8倍于λ/2波片或偏振片旋转角的相移量。光束的起偏与检偏,参考臂和样品臂的光强匹配,由一块偏振片来完成。本发明具有器件少,结构简单,测量时间短的优点。
申请人:浙江大学
地址:310027 浙江省杭州市西湖区浙大路38号
国籍:CN
代理机构:杭州求是专利事务所有限公司
代理人:林怀禹
更多信息请下载全文后查看