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专利名称：一种基板气浮装置及基板测试设备专利类型：实用新型专利发明人：姚太平,董帅
申请号：CN201721599545.4申请日：20171124公开号：CN207440456U公开日：20180601
摘要：本实用新型公开一种基板气浮装置及基板测试设备，涉及显示技术领域，以降低显示基板性能测试的成本。所述基板气浮装置包括气浮本体以及供气单元；气浮本体内设伸缩支撑单元，气浮本体上设有供伸缩支撑单元穿梭的多个间隙，还包括阀门控制器，与搬运机器人交互的回缩控制器，以及用于检测伸缩支撑单元最大伸出位置的位置传感器，回缩控制器的输出端分别与伸缩支撑单元的控制端和阀门控制器的输入端连接，阀门控制器的输入端还与位置传感器的输出端连接，阀门控制器的输出端与可控阀门的控制端连接。所述基板测试设备包括上述技术方案所提的基板气浮装置。本实用新型提供的基板气浮装置及基板测试设备用于基板性能测中。
申请人：合肥欣奕华智能机器有限公司
地址：230013 安徽省合肥市新站区龙子湖路与荆山路交口西南
国籍：CN
代理机构：北京中博世达专利商标代理有限公司
代理人：周娟
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