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专利名称：一种具有温漂补偿的电容湿度传感器及其制作方法专利类型：发明专利发明人：秦明,周永丽,黄见秋申请号：CN201110456757.8申请日：20111231公开号：CN102565149A公开日：20120711
摘要：本发明公开一种具有温漂补偿的电容式湿度传感器及其制作方法，传感器本体采用表面微机械加工技术在半导体衬底上形成隔离层，以及隔离层上的感湿悬臂和上、下电极。其中感湿悬臂由从下到上叠置的第一湿敏材料层、隔湿层、第二湿敏材料层组成，上电极覆盖第一湿敏材料层的下表面，并与下电极形成敏感电容。当环境湿度变化时，第一湿敏材料层和第二湿敏材料层体积变化不同，即引起感湿悬臂的变形，进而带动上电极的变形，使得上电极于下电极之间的电容改变，利用电容值的变化可表征环境湿度的变化。而当环境温度变化时，感湿悬臂的两层湿敏材料层体积变化相同，即达到了温漂补偿的效果，使得本发明具有低温漂的优异性能。
申请人：东南大学
地址：214135 江苏省无锡市新区菱湖大道99#
国籍：CN
代理机构：南京天翼专利代理有限责任公司
代理人：王玉梅
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