专利内容由知识产权出版社提供
专利名称：工件夹头结构专利类型：发明专利发明人：赖育章
申请号：CN200810177807.7申请日：20081201公开号：CN101403095A公开日：20090408
摘要：本发明涉及一种工件夹头结构，具有一装设段；一延伸段，衔接于该装设段并且弯曲延伸；以及一承托段，衔接于该延伸段，该承托段具有一承载面，且该承载面具有多个沟槽。利用此工件夹头夹持一待加工工件进行溅镀工艺，于待加工工件表面与工件夹头的承载面分别形成一镀膜时，通过此沟槽的设置，使得形成于承载面上的镀膜不会剥落而掉落于待加工工件表面，以提升溅镀工艺的合格率。
申请人：友达光电股份有限公司
地址：中国新竹市
国籍：CN
代理机构：隆天国际知识产权代理有限公司
更多信息请下载全文后查看
