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专利名称：托架支承装置专利类型：发明专利
发明人：小笠原郁男,加藤仪保申请号：CN200580022045.8申请日：20050620公开号：CN1977372A公开日：20070606
摘要：本发明的托架支承装置(10)支承在垂直方向上设置间隔、以水平姿势容纳有多个接**板状的被处理体(D)的托架(C)。托架具有在垂直方向上设置间隔的多个组的支承层(槽(1A)的下面)，各个支承层的组分别支承一个被处理体(D)的底面边缘。托架支承装置具有载置托架(C)的载置台(11)、以相对于该载置台自由升降的方式设置的抬升部件(12)、和可升降驱动该抬升部件的驱动机构。抬升部件(12)上升时压紧由托架(C)的最下位的支承层的组支承的被处理体(D)的底面，并从该支承层抬起被处理体(D)。
申请人：东京毅力科创株式会社
地址：日本东京
国籍：JP
代理机构：北京纪凯知识产权代理有限公司
代理人：龙淳
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