一种利用弹簧夹子的晶圆夹持装置

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN201210218852.9 （22）申请日 2012.06.27 （71）申请人 清华大学

地址 100084 北京市海淀区100084信箱82分箱清华大学专利办公室

（10）申请公布号 CN102751228A

（43）申请公布日 2012.10.24

（72）发明人 杨开明;朱煜;李鑫;汪劲松;尹文生;胡金春;张鸣;徐登峰;穆海华;崔乐卿;余东东 （74）专利代理机构 北京鸿元知识产权代理有限公司

代理人 邸更岩

（51）Int.CI

H01L21/683;

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

一种利用弹簧夹子的晶圆夹持装置

（57）摘要

一种利用弹簧夹子的晶圆夹持装置，该装

置包括薄片V型托盘、晶圆夹子和凸起支撑。晶圆夹子包括支架、连杆、弹簧及滑块。当抓取晶圆时，晶圆边缘与滑块的斜面部分接触，其重力分力使滑块沿连杆向支架方向移动，并使弹簧压缩，晶圆夹在晶圆夹子中间。晶圆底面与四个凸起件的上表面接触，由凸起件支撑。晶圆边缘与滑块侧面接触，弹簧的变形对晶圆边缘产生一定

的压力，夹紧晶圆使晶圆固定。通过改变托盘末端晶圆夹子的位置，可以实现不同直径尺寸晶圆的传输。利用弹簧增加了系统的柔性，避免了传输过程中托盘与晶圆边缘刚性接触所引起的晶圆破损。在抓取晶圆时，使晶圆落在滑块的倾斜部分范围内即可满足要求，因此允许末端执行器存在一定的定位误差。

法律状态

法律状态公告日2012-10-24 2012-12-19 2014-11-26

法律状态信息

公开

实质审查的生效 授权

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权利要求说明书

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说明书

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