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石英坩埚检验标准

来源:华佗小知识
嘉兴五神光电材料有限公司电弧石英玻璃坩埚检验标准

1、范围

包装、运输和贮存。2.术语和定义

下列术语和定义适用于本标准.

文件编号:CZSi-05-1版本号:A/1

页码:第21页 共22页

生效日期:2009年4月21日

本标准适用于拉制太阳能单晶用的石英玻璃坩埚的要求,检验规则及标志、

2.1 裂纹 坩埚表面能发现出来的裂纹或微细裂纹.2.2 划伤 内表面能看见的划伤

2.3 附着物 附着在坩埚表面上的任何物质

2.4 表面沾污 内外表面的不干净膜、变色、喷溅、指纹等。2.5 杂质 石英玻璃组成中二氧化硅(SiO2)以外的组分.2.6 凹坑 坩埚内表面呈现的凹坑2.7 崩边 坩埚边沿的缺口或伤疤

2.8 气泡 表面存在的开口泡或夹层里存在的气泡.

2.9 气泡群 坩埚壁厚内密集着2个以上的气泡,气泡间距不超过气泡直径的5倍3. 要求

3.1 电弧石英玻璃坩埚的形状应符合图1的规定

图1 电弧石英玻璃坩埚的形状

注:D—外径,H—高度,W1、W2、W3—厚度,R—标称半径(底部),r—标称半径(弧度)

3.2 规格尺寸及偏差(见表1)

表1 规格尺寸 规格(英寸)

外径(D)高度(H)壁厚(W1)壁厚2(W1)壁厚3(W1)半径1(R)半径2(r)18“457321±39.010.0±210.0±2500 12020“507356±310.011.0±211.0±2 508 90

3.2.1 涂层英石英玻璃坩埚,其涂层厚度应不小于0.5㎜.

3.2.2 用真空法生产的电弧石英玻璃坩埚,其真空玻璃态厚度应不小于3㎜3.3 外观

3.3.1 石英玻璃坩埚内外表面应清洁无沾污.3.3.2 坩埚内外不允许有裂纹.

3.3.3 坩埚口端部不允许有切割毛刺崩边,口端部内倒角应﹥2㎜.3.4 外观质量指标

3.4.1 划伤 坩埚底部不允许有划伤、触痕。3.4.2 凹坑

a.不允许有无光泽的凹坑,底部连接弧度处不允许有凹坑.

b.有凹坑,但很光滑能满足壁厚要求,直径小于5㎜,不允许超过2只.3.4.3杂质点

a.坩埚内表面上不允许有杂质点.

b.处有坩埚壁厚中用肉眼能够判断的杂质点的数量(只数)应不大于表2的规定.

表2 杂质点数量

直径(㎜)

埚规格(㎜)

457 5070.5﹤Φ≦1.0 2 21.0﹤Φ≦1.5 1 1

注1: Ф﹥1.5㎜的杂质不允许

注2: 每平方厘米杂质点数量不超过2只.

3.4.4气泡

a. 坩埚内表面不允许有开放的气泡.

b. 坩埚内表面不允许因气泡造成凸出的点.

c. 距口边40㎜以外处在坩埚壁厚内的气泡数量(只数)应不大于表3规定

表3 气泡数量

直径(㎜)

埚规格(㎜)

457 5070.5﹤Φ≦0.7 5 5

0.7﹤Φ≦1.0 4 4

注1: Ф﹥1.0㎜以上的气泡不允许

注2: 每平方厘米气泡数量不超过2只.

3.4.5 不允许有未熔融的原料份或杂质附着物存在即生料点。

3.4.6 铝、钙、铁、铜、钾、钠、锂、硼等13个杂质元素的总含量不大于其中该8种杂质元素的含量应不大于下表的规定.

表4杂质元素的含量×10-6元素符号AlFeCaCuKNaLiB

含量 ≤100.50.5

0.020.50.50.50.1

3.5检验原则

3.5.1 入厂检验:品质管理人员按5%比例逐抽检..注意戴好无尘手套、口罩..单晶车间操作工在生产过程中逐只检验..

3.5.2 判定规则:各项外观质量指标达到规定指标要求则判该只坩埚为合格,当要求中任意一项指标不合格时,则判该只坩埚为不合格.3.6 标志、包装、运输、贮存3.6.1 标志

3.6.1.1 每只或每箱产品出厂时应附有产品说明书、合格证.

3.6.1.2 合格证上应写明产品名称、规格、数量、生产日期、制造厂名、商标和产品标准号。3.6.2 包装

3.6.2.1 每只坩埚用定型泡沫塑料包装,然后放入纸盒内,避免运输中碰损.3.6.3 运输

3.6.3.1 装、卸、运都要轻拿、轻放,不能扔摔,碰撞.防止雨淋日晒,防止受潮.3.6.4 贮存

3.6.4.1 产品应贮存在室内,无有害气体,干燥清洁的地方.不得重压.

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