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专利名称：一种高灵敏度低噪声加速度检测装置及方法专利类型：发明专利
发明人：王东方,郑路伟,苑文楼申请号：CN2020100391.9申请日：20200706公开号：CN111579818A公开日：20200825
摘要：本发明属于加速度测量技术领域，具体涉及一种高灵敏度低噪声加速度检测装置及方法；其中加速度检测装置包括底板、保护外壳、磁屏蔽罩、平行梁振子、主永磁铁、隧道磁电阻传感元件、磁场调制部分、平行梁振子、负反馈永磁铁、负反馈线圈、支撑体和负反馈线圈支撑；是通过梁并联实现高灵敏度、利用磁场高频调制方法实现低1/f噪声和引入电磁力负反馈宽化检测范围的加速度检测装置及方法，能够实现加速度的高灵敏度、低噪声检测。
申请人：吉林大学
地址：130012 吉林春春高新技术产业开发区前进大街2699号
国籍：CN
代理机构：长春吉大专利代理有限责任公司
代理人：郭佳宁
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