专利内容由知识产权出版社提供
专利名称：真空镀膜机移动靶装置专利类型：实用新型专利发明人：张文华
申请号：CN93212674.X申请日：19930518公开号：CN2162470Y公开日：19940420
摘要：本实用新型涉及真空镀膜机移动靶装置，包括沿 导轨移动吊装磁控靶的移动装置，柔性冷却管和电 缆，滑轮组，冷却管和电缆输入端子，无级变速装置及 磁控靶，具有镀膜室比较小，移动靶装置结构简单，易 于控制，被镀工件镀膜均匀等特点，提高了生产效率， 降低了制造成本。
申请人：张文华
地址：100088 北京市新外大街三号2-3-201
国籍：CN
更多信息请下载全文后查看
