激光光束分析仪校准方法及系统

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN201210497461.5 （22）申请日 2012.11.28 （71）申请人 中国计量科学研究院

地址 100013 北京市朝阳区北三环东路18号

（10）申请公布号 CN1030176A

（43）申请公布日 2013.04.03

（72）发明人 王艳萍;马冲

（74）专利代理机构 北京路浩知识产权代理有限公司

代理人 韩国胜

（51）Int.CI

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

激光光束分析仪校准方法及系统

（57）摘要

本发明属于仪器校准技术领域，公开了一

种激光光束分析仪的校准方法及系统。构造的平行光场，经过标准孔径的光阑形成标准束宽的平顶光束，被校激光光束分析仪测量该平顶光束的束宽，比较测量值和光束宽度标准值，实现激光光束分析仪的校准。该方法及系统有效可行，准确稳定，操作简便，解决了激光光束分析仪光束宽度量值的溯源问题，并大大提高了校准精确度。

法律状态

法律状态公告日

2013-04-03 2013-05-01 2015-04-29 2017-01-11

公开

实质审查的生效 授权 专利权的终止

法律状态信息

公开

法律状态

实质审查的生效 授权 专利权的终止

权利要求说明书

激光光束分析仪校准方法及系统的权利要求说明书内容是....请下载后查看

说明书

激光光束分析仪校准方法及系统的说明书内容是....请下载后查看