专利名称：有机铟化合物专利类型：发明专利
发明人：D·V·谢奈-卡特哈特,R·L·小迪卡洛申请号：CN03128657.7申请日：20030117公开号：CN1445230A公开日：20031001
摘要：本发明披露了含有两个大体积烷基的三烷基铟化合物，其为液态或者是易液化的固态并具有足够的蒸气压用于气相淀积过程，和使用这种化合物沉积含铟薄膜的方法。
申请人：希普雷公司
地址：美国马萨诸塞
国籍：US
代理机构：中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人：郭建新
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