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专利名称：图案检查装置专利类型：发明专利发明人：永森进一,林宏树申请号：CN200510113806.2申请日：20051012公开号：CN1763511A公开日：20060426
摘要：本发明的课题是，使布线部分与树脂薄膜部分的对比度增加，而可以通过反射照明容易地检测出布线图案。形成有布线图案的TAB带(5)，从送出卷线机(11)被卷出而送到检查部(1)。在检查部(1)中，用反射照明单元(1a)照明，用摄像单元(1b)来拍摄TAB带(5)上的检查图案。被拍摄的检查图案的图像被送到控制部(4)，与基准图案比较来判断图案是否合格。反射照明单元(1a)的光源，例如为仅发射波长大于等于500nm的光的例如红外LED。因为仅用透过TAB带(5)的波长大于等于500nm的光照射，故可以得到对比度优良的图像。另外，使载物台(1c)的红外线反射率小于等于10％，或不设置载物台(1c)，能够得到对比度更优良的图像。
申请人：优志旺电机株式会社
地址：日本东京都
国籍：JP
代理机构：永新专利商标代理有限公司
代理人：胡建新
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