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专利名称：阴极溅射设备专利类型：发明专利
发明人：F·富克斯,S·邦格特,R·林登伯格,H·格里姆,T·斯托
莱,U·舒布勒
申请号：CN200410063816.5申请日：20040709公开号：CN1580319A公开日：20050216
摘要：本发明涉及一种为了在真空中涂覆基底而阴极溅射的设备，该设备包括载体和冷却系统；载体用于待溅射的材料，基本上为管形并可绕其纵轴线旋转；冷却系统在与设在载体之外的冷却装置相结合时适于使冷却介质在管形的载体中循环；该设备还包括用于连接供电回路的装置和用于使管形的可旋转的载体绕其纵轴线旋转的驱动装置。所述设备还提供磁系统，该磁系统沿纵轴线伸展用于对于设置在由待溅射的材料所制成的靶附近的等离子进行磁包围，该磁系统由极靴、用渗磁的金属制成的磁轭及磁化装置组成，该磁化装置适于在磁化系统中产生磁通，磁系统的极性的磁极设在管形的可旋转的载体之外并框架地包围该载体，并在管形的可旋转的靶载体中设有对应的磁极。
申请人：应用菲林股份有限两合公司
地址：联邦德国阿尔策瑙
国籍：DE
代理机构：中国专利代理()有限公司
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