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专利名称：一种微波激发式PVD镀膜设备专利类型：实用新型专利发明人：张红星,张小健,樊天柱申请号：CN202021984853.0申请日：20200911公开号：CN213232474U公开日：20210518
摘要：本实用新型公开了一种微波激发式PVD镀膜设备，涉及PVD镀膜领域，包括装置主体，装置主体的两侧固定有冷却箱，装置主体与冷却箱之间连接有出气管，冷却箱的顶部安装有真空泵，真空泵的输出端连接有输气管，输气管的顶端固定有变向阀，变向阀的一侧连接有排气管。本实用新型通过设置有电机、第一隔板、第二隔板、旋转杆和连杆，当使用者需要使用该装置时，使用者将密封门打开，然后使用者将需要镀膜的物料挂在连杆上，将物料挂满后使用者件密封门关闭，然后使用者通过操作面板启动电机工作，电机带动旋转杆转动，旋转杆带动连杆转动，从而避免了装置无法对物料进行多个面进行镀膜，且提高了装置的工作效率。
申请人：昆山市正行电子科技有限公司
地址：215300 江苏省苏州市昆山市千灯镇宏洋路12号4号房
国籍：CN
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