专利内容由知识产权出版社提供
专利名称：A vacuum pumping system and method of
controlling the same
发明人：Savidge, Derek Graeme Madgewick,Turner,
Neil,Huntley, Graeme
申请号：EP03253197.2申请日：20030522公开号：EP1367260A2公开日：20031203
专利附图：
摘要：Array
申请人：The BOC Group plc
地址：Chertsey Road Windlesham Surrey GU20 6HJ GB
国籍：GB
代理机构：Edwards, David Harvey Lloyd (GB)
更多信息请下载全文后查看
