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专利名称：石墨烯薄膜及其制备方法、以及薄膜晶体管阵列专利类型：发明专利
发明人：夏玉明,卓恩宗,余思慧申请号：CN2020113865.9申请日：20201202公开号：CN112680719A公开日：20210420
摘要：本申请公开一种石墨烯薄膜及其制备方法、以及薄膜晶体管阵列。其中，所述石墨烯薄膜的制备方法包括以下步骤：制备填充有金属催化剂的分级多孔二氧化硅薄膜；采用原子层沉积法在所述分级多孔二氧化硅薄膜表面沉积石墨烯；以及去除所述分级多孔二氧化硅薄膜后，得到石墨烯薄膜。本申请的技术方案制备的石墨烯薄膜导电性能较好，可以替代传统ITO材料作为透明电极，广泛应用于薄膜晶体管。
申请人：北海惠科光电技术有限公司,惠科股份有限公司
地址：536000 广西壮族自治区北海市工业园区北海大道东延线336号广西惠科科技有限公司二期A座4楼A-430室
国籍：CN
代理机构：深圳市世纪恒程知识产权代理事务所
代理人：关向兰
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