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专利名称：获得激光二极管的方法专利类型：发明专利
发明人：G·罗杰罗,G·米奈格海尼,G·莫瑞罗,A·斯塔诺,M·罗索申请号：CN201710332367.7申请日：20170511公开号：CN107370018A公开日：20171121
摘要：本发明涉及一种获得激光二极管的方法。该方法包括以下步骤：提供(100)包括光学层(4、6、8)的衬底(2)；执行(102)所述衬底(2)的第一干蚀刻，以获得具有预定深度的两个相对的横向面(10)，所述横向面(10)表示腔体(12)的侧壁；清洁(104)所述腔体(12)的底部；在整个衬底(2)上沉积(106)涂层(52)；执行(108)第二蚀刻，以使所述腔体(12)的底部没有所述涂层(52)；执行(110)所述腔体(12)的底部的第三深蚀刻；去除(112)所述涂层(52)，以获得所述激光二极管(1)，其中所述横向面是二极管(1)的横向镜子(10)。
申请人：普里马电子股份公司
地址：意大利都灵
国籍：IT
代理机构：中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人：张小稳
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