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专利名称：提高靶材利用率的磁性靶材专利类型：发明专利
发明人：李原吉,刘品均,杨峻杰,陈松醮,蔡明展,林子平申请号：CN201810391263.8申请日：20180427公开号：CN1104000A公开日：20191105
摘要：本发明涉及一种磁性靶材，所述磁性靶材包含背板、靶材单元及磁性单元。靶材单元设置在背板的一面，靶材单元包含内侧靶材、内环靶材以及外环靶材，内环靶材为上窄下宽的梯形，而内环靶材的两侧分别具有第一导磁面及第二导磁面，内侧靶材与第一导磁面相邻设置并与内环靶材之间形成倾斜的内侧导磁通道，外环靶材与第二导磁面相邻设置并与内环靶材之间形成倾斜的外侧导磁通道，磁性单元远离靶材单元设置在背板的另一面。因此，通过倾斜的内侧导磁通道与外侧导磁通道避免磁力线被弱化以及磁场干扰问题，达到有效引导电浆集中溅镀内环靶材的效果。
申请人：友威科技股份有限公司
地址：中国桃园市
国籍：TW
代理机构：广州华进联合专利商标代理有限公司
代理人：司佩杰
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