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专利名称：在OLED上形成无机薄层的方法专利类型：发明专利发明人：申雄澈,崔圭政,白敏申请号：CN2016106247.8申请日：20160721公开号：CN1074949A公开日：20180130
摘要：本发明涉及一种在OLED上形成无机薄层的方法，尤其是以原子层沉积方法在有机发光二极管衬底上形成氧化铝薄膜的方法，所述方法包括以下步骤：1)在排出线路上安装湿气移除捕集器，所述排出线路用于排出真空腔室中的气体，所述真空腔室设有工艺气体供应单元和工艺气体排出单元；2)准备有机发光二极管被形成于其上的衬底；3)将所述衬底运载至所述真空腔室的内部；4)通过打开在所述湿气移除捕集器的前面安装的闸门阀来移除所述真空腔室中的湿气；5)以使用HO作为工艺气体的原子沉积方法在所述衬底上形成氧化铝薄膜；以及6)通过打开在所述湿气移除捕集器的前面安装的闸门阀来移除其中完成了薄膜沉积工艺的所述真空腔室中的湿气。
申请人：NCD有限公司
地址：韩国大田
国籍：KR
代理机构：永新专利商标代理有限公司
代理人：王永建
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