（19）中华人民共和国国家知识产权局
（12）发明专利申请
（21）申请号 CN201910901622.4 （22）申请日 2019.09.23
（71）申请人 昆山成功环保科技有限公司
地址 215334江苏省苏州市昆山开发区澄湖路248号3号房
（10）申请公布号 CN110438505A
（43）申请公布日 2019.11.12
（72）发明人 沈文宝;黄雷;孟路强 （74）专利代理机构
代理人
（51）Int.CI
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
晶圆级封装用钛种子蚀刻液
（57）摘要
本发明公开了一种晶圆级封装用钛种子蚀
刻液，该蚀刻液由A组分和B组分在使用前按体积比例混合而成，且A组分与B组分的比例为(0.8‑1)：1；所述A组分为双氧水；所述B组分按照浓度包括以下组分：柠檬酸40‑80g/L双氧水稳定剂0.1‑10g/L、防侧蚀剂0.1‑10g/L、磷酸氢二钾30‑90g/L、磷酸二氢钾2‑6g/L、表面活性0.1‑10g/L；将上述的B组分按照组分比例配置好后再按比例与A组分混合均匀；均匀混合后根据
需要再添加pH缓冲液调整到pH值控制在8‑9以内后，形成该钛种子蚀刻液；该钛种子蚀刻液需要在温度在30℃‑60℃之间时使用。本发明该钛种子蚀刻液具有性能稳定，适合超细线路，侧蚀小，对铜、铝几乎无腐蚀等特点。
法律状态
法律状态公告日
2019-11-12 2019-11-12 2019-12-06
法律状态信息
公开 公开
实质审查的生效
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权利要求说明书
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说明书
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