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专利名称：具有多个溅射源的反应溅射专利类型：发明专利
发明人：M.杜布斯,K.鲁姆,H.罗尔曼申请号：CN201610136387.2申请日：20100423公开号：CN105568242A公开日：20160511
摘要：本申请涉及具有多个溅射源的反应溅射。用于通过反应溅射来涂覆衬底(14)的设备(1)包括轴(8)；关于所述轴(8)成对称布置的至少两个目标(11,12)，以及连接到目标(11,12)的电源，其中目标能交替地作为阴极和阳极工作。该方法为制造涂覆的衬底(14)的方法，其通过在包括轴(8)的设备(1)中进行反应溅射来涂覆衬底(14)。该方法包括：a)提供待涂覆的衬底(14)；b)提供关于所述轴(8)成对称布置的至少两个目标(11,12)；c)在涂覆期间交替地操作所述目标(11,12)作为阴极和阳极。优选地，在溅射期间旋转目标(11,12)和/或目标被同心地布置，且最内部的圆形目标被至少一个环形外部目标包围。
申请人：欧瑞康先进科技股份公司
地址：列支敦士登巴尔策斯
国籍：LI
代理机构：中国专利代理()有限公司
代理人：陈岚
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