表面缺陷的检测方法及其装置

（12）发明专利说明书

（21）申请号 CN95102598.8 （22）申请日 1995.10.27 （71）申请人 日本钢管株式会社

地址 日本东京

（10）申请公布号 CN1099031C （43）申请公布日 2003.01.15

（72）发明人 风间彰;大重贵彦;河村努;的场有治

（74）专利代理机构 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所

代理人 范本国

（51）Int.CI

G01N21/88; G01J4/04; G01B11/30;

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

表面缺陷的检测方法及其装置

（57）摘要

本发明的表面缺陷检查方法是：使偏

振光照射在被检查表面上，求其反射光的椭圆偏振光参数(ψ、Δ)；使光照射在与偏振光照射的同一部位，求其反射光强(I)；根据上述参数(ψ、Δ)和光强(I)，判定缺陷等级和种类。本发明的表面缺陷检测装置包括：使偏振光照射被检查表面，测定上述参数(ψ、Δ)的装置；使光照射与偏振光照射的同一部位，测定上述光强(I)的装置；特上述

反射光的ψ、Δ、I的三维坐标位置划分成预定的范围并输出的装置。 法律状态

法律状态公告日

1996-09-04 1997-05-14 2003-01-15 2008-12-31

法律状态信息

实质审查请求的生效

公开 授权

专利权的终止(未缴年费专利权终止)

法律状态

实质审查请求的生效

公开 授权

专利权的终止(未缴年费专利权终止)

权利要求说明书

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说明书

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