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专利名称：取晶机专利类型：实用新型专利发明人：朱玉萍,岑刚
申请号：CN201320379324.1申请日：20130628公开号：CN203339122U公开日：20131211
摘要：本实用新型涉及集成电路芯片处理技术领域，公开了一种取晶机，包括取晶臂、垂直驱动装置和旋转驱动装置，所述垂直驱动装置驱动所述取晶臂上下运动，所述旋转驱动装置驱动所述取晶臂转动，所述旋转驱动装置设置在所述垂直驱动装置的下方，所述取晶臂设置在所述旋转驱动装置的下方，所述取晶臂通过一个长轴连接至所述垂直驱动装置，所述长轴的中间穿过所述旋转驱动装置的中空转轴。本实用新型的垂直驱动装置和旋转驱动装置布置在同一直线上，节省空间，旋转驱动装置通过中空伺服电机对取晶臂提供旋转动力，与垂直驱动装置互不相涉。
申请人：嘉兴景焱智能装备技术有限公司
地址：314100 浙江省嘉兴市嘉善县大云镇嘉善大道2188号3号楼1D、1E室
国籍：CN
代理机构：上海翼胜专利商标事务所(普通合伙)
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