（19）中华人民共和国国家知识产权局
（12）发明专利申请
（21）申请号 CN201811359805.X （22）申请日 2018.11.15 （71）申请人 华东理工大学
地址 200237 上海市徐汇区梅陇路130号
（10）申请公布号 CN1094542A
（43）申请公布日 2019.03.19
（72）发明人 高阳;轩福贞;李琪;钱敏;沙金;温建锋 （74）专利代理机构 上海专利商标事务所有限公司
代理人 陶启长
（51）Int.CI
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
应变传感器及其制造方法
（57）摘要
本发明提供一种工艺简单、成本低、并且
具有高灵敏度的应变传感器以及其制造方法。该应变传感器通过以下步骤制造：制备柔性衬底；用激光照射柔性衬底的一侧，形成导电层；在柔性衬底的形成有导电层的一侧形成电极，所述电极与所述导电层电连接；和在柔性衬底上形成具有柔性的保护层。本发明得到的应变传感器可以通过电阻的变化实时监测应变变化，灵敏度高，具有良好的可靠性和抗疲劳特性。
法律状态
法律状态公告日
2019-03-19 2019-03-19 2019-04-12
公开 公开
实质审查的生效
法律状态信息
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权利要求说明书
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说明书
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