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专利名称：一种用于晶圆刻蚀设备的切割装置专利类型：发明专利发明人：王昌华
申请号：CN201811060248.1申请日：20180912公开号：CN1022848A公开日：20181130
摘要：本发明涉及晶圆流片加工生产附属装置的技术领域，特别是涉及一种用于晶圆刻蚀设备的切割装置，其可以降低安全隐患，提高硅晶柱切割过程中的稳定性，提高切割精度，提高切割效果，降低使用局限性；并且传动皮带在长时间使用过程中，可对松弛的传动皮带进行张紧调节，提高传动效果，提高使用可靠性；包括操作板、四组支腿、后侧板、切割电机、传动皮带、金刚石切割片、左限位板、右限位板、左滑板、右滑板、顶板、调节丝杠、带动电机、两组左上导轮、两组左下导轮、两组右上导轮、两组右下导轮、两组锁紧螺栓、上固定板、下固定板、左固定板、右固定板、螺纹管、螺纹杆、调节板和张紧轮，后侧板的中部的左侧和右侧均纵向设置有燕尾滑槽。
申请人：江苏英锐半导体有限公司
地址：224002 江苏省盐城市经济技术开发区综合保税区纽约中路1号3号标准厂房
国籍：CN
代理机构：常州市权航专利代理有限公司
代理人：袁兴隆
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