管式PECVD操作指导书 REV.A/0
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文件编号：WI-EM02-72 版本：A/0 生效日期： 页码： 6 管式PECVD操作指导书 修改记录 版本 A/0 修改内容摘要 新发布 编制人 审核人 批准人 日 期 规范生产过程出现异常时的操作程序；细化操作步骤；增加操作时出现的报警信息及处理 发 布 部 门 份数 发 布 部 门 份数 □ 总经理部 [ ] □ 财务部 [ ] □ 人事行政部 [ ] □ 设备部 [ ] □ 市场营销部 [ ] □ 品控部 [ ] □ 技术工艺部 [ ] □ 生产部 [ ] 文件宣贯签字： 管式PECVD操作指导书 REV.A/0
1.目的
确保管式PECVD处于良好的运行状态。
2.使用范围
适用于所有Centrotherm管式PECVD。
3.生产操作 3.1开机
3.1.1开总电源。
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用手扳住电柜外部的红色按钮，旋转90度。从“OFF”位置拔向“ON”位置，机器上指示灯亮VAT控制器灯亮，可确定总电源已开启。
注意，当机器出现故障，按下急停键后，首先松开急停键，然后将开关逆时针转到Reset的位置，然后再顺时针转到“ON”的位置。机器上指示灯亮VAT控制器灯亮，可确定总电源已开启。
3.1.2开真空泵。
（1） 合上真空泵电源，按下reset按钮，start按钮亮，然后按下start按钮，pre run 按钮亮，此
时真空泵启动，当真空泵运行到正常转速时，vacuum mode 灯亮，此时真空泵完全启动。
复位按钮 Start按钮 电源 Pre Run灯 Vacuum mode灯 管式PECVD操作指导书 REV.A/0
3.1.3 检查外围条件。
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N2的压力>2.5Kg/cm2，SiH4的压力约为1.5 Kg/cm2，NH3的压力约为1.5Kg/cm2，CDA的压力为5～7 Kg/cm2。
炉门处的冷却水流量计>4SLM，设备炉体区顶部的冷却水流量计>4SLM，主冷却器>8SLM，设备尾部的冷却水流量计>4SLM，射频电源的总冷却水流量计>18SLM.
3.2界面操作
（1） 启动CMI程序。开总电源后计算机自动启动。输入密码“6065”后自动进入Windows桌面。
用鼠标左键双击“CMI”图标，启动CMI。
（2） 进入CMI 画面，检查设备状态：
SLS=UP（舟处于上位） ，DOOR=CLOSED（门处于关紧状态） ，PLC=OK ，LIFT=READY（机械壁必须在零位） ，TUBE=READY（炉管处于准备好状态）
SET/ACT POSITION=0（桨处于原点位） ，PROCFLAG=OK（程序标志位OK状态）
3.2.1选择工艺程序，生产。
（1） 插片。用小车承载石墨舟，在插片房中插满硅片。
（2） 向机器进车。向机器推入装完片的石墨舟小车。计算机CMI自动切换到“JOBS”画面 在“LOTS”项直接按回车，在舟号里输入舟的号码。选择对应的工艺文件设备自动或人工选择TUBE后，按“RUN”按钮，设备自动进行工艺生产。
RUN
对应相应的项目 管式PECVD操作指导书 REV.A/0
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3.2.2从机器中取车。硅片沉积反应完成后自动卸石墨舟到小车。听到蜂鸣器的声音后，按住
绿色的小车解锁按钮三秒钟。等灯熄灭后拉出小车推入冷却房中。在运输过程中千万注 意舟的安全和避免舟高温伤害。
3.2.6完毕后小心推入冷却房中进行冷却后推到装片房卸片。 3.3关机
3.3.1检查确认生产已完毕。机器中舟已卸出。
3.3.2 PECVD每个真空管压力设定为10000mToor,等每管实际压力达到10000mToor。 3.3.3设备降温。直到降到100℃以下，才关闭CMI程序。再关计算机。 3.3.4关主电源。用手扳住电柜外部的红色按钮，逆时针方向转90度。
3.3.5关闭气源。注意：除N2外关闭所有气体。（一般情况下不需要关闭气源）
3.3.6关闭冷却水。等待二十分钟后关闭冷却水。先关进水，再关出水。（一般情况下不需要该操作） 3.3.7关闭真空泵。按压真空泵面板“OFF”按钮停泵。
3.4 常见故障处理 3.4.1上料故障
（1）舟车放进去后没动作
处理方法：a.检查上面的store2和store3是否都有舟，都有舟时，舟车不带石墨舟才能动作，否则不动作 b.检查setup里面store2和store3是否同时有舟
c．检查舟车上面的反光板有没脏污物挡住
（2）舟车推进去后刚升上夹紧，马上就松动降下 处理方法：调整升降气缸的气流量
3.4.2进舟故障
（1）桨上有舟，但机械臂不能放进去该位置
原因：检测舟的传感器没感应到反射，导致以为桨上有舟 处理方法：点击“system”—>“handling”，然后查看左上角的桨的状态，如果是occupied状态的话，调整炉门的反光板，直到该状态为“free”状态。 （2）石墨舟进不到位，只进到2050～2062之间 原因：电极孔没对上，或者石墨舟放反了
处理方法：及时通知设备部人员，调整电极。
3.4.3退舟故障
（1）桨在退舟时，卡住不动了
原因：桨上有舟，退出时，炉口的EFM传感器测量的石墨舟的值，和设定值有偏差>7mm。 处理方法：a.sevice—recovery—handling即可（一般采用此方法，不需要管理员用户）
b.service—calibrat—EFM—zeropos（校准零位，复位，需要管理员用户）
3.4.4 工艺故障
（1）炉管里面有舟，但桨不会自动取舟 a．压力不足
处理方式：看炉管压力是否为Atmo reach或者overpress（达到大气压或者压力超过大气压），如果不是的
话，补充氮气或者打开N2NO阀门（快速补充氮气）
b.手动加载工艺运行的情况下，如果错删舟信息，在上限位可以进舟，下限位不可以的情况
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处理方式：炉管压力达到的话，桨在下限位而进不去，可以先将桨升到上限位，然后设桨的位置为20，打
开炉门后，再将桨的SLS设为go down，用手推桨进去，注意，扩散的话，桨的位置为2062，PECVD的话，桨的位置为2082
（2）进舟后过一段时间，桨自动拿舟退出
原因1：硅片短路（有报警显示，显示为高频超出第二个报警值） 处理方法：检查石墨舟，并将石墨舟片之间的短路部分弄好 原因2：抽不了真空（看报警提示）
一般情况下，抽真空的值，Pressure 的set=0时，Act抽到最大时，应该在40mtorr以内，同时，漏气的速率不能大于2mtorr/秒。
处理方法：检查真空泵是否正常运行，检查炉门是否密封，擦炉门两个接触面，同时，检查后面热偶管密封位置
（3）炉管变黑色
原因：CMI（触摸屏）连接不上Cesar，重启Cesar即可。
（4）.炉管停止加热
原因1：冷却水流量不足
解决办法：调节冷却水水流量到一定值。如果无法调高，冷却水流量供应有问题，或者冷却水流量计探头
脏污，此时，请第一时间联系设备部
3.5 真空泵常见问题及其处理方法
上图所示，真空泵中间一行指示灯为报警指示灯，各个灯亮度报警含义如下：
第一个灯（黄灯）亮：吹扫泵体的氮气压力不足 处理方法：打开右侧盖板调节氮气压力>1.2 Kg/cm； 第二个灯（黄灯）亮：泵体的温度过高 处理方法：调节冷却水流量，一般指针在2的位置为宜； 第三个灯（黄灯）亮：出口压力高 处理方法：外围抽风不足，加大外围抽风
第四个灯（红灯）亮:泵体温度过高，停止使用 处理方法：复位后仍不正常请及时联系设备部
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4.生产过程维护规程 4.1 石墨舟维护 (1)清洗石墨舟
频率：正常情况下，石墨舟在运行120～130次后，需要清洗
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第五个灯（红灯）亮：出口压力过高，原因为排风管堵塞，处理方法：复位仍不正常及时联系设备部
原因：石墨舟表面的SiN膜变厚，需要作维护，否则，石墨舟外片容易破裂，同时，挂钩点的膜较多，容易造成较多碎片。 （2）维护石墨舟
a．更换石墨片 石墨片破裂的前提下更换
b．更换挂钩点 石墨舟在清洗后，挂钩点仍容易破片时更换
4.2 炉管维护
频率：a.每周不降温清理石英管一次
b．每月降温清理石英管一次
原因：由于镀膜时，产生高频导致硅片振动，容易造成在炉管破片，长时间的运行导致破片较多，在炉管里面会造成温度测温不准确，以及射频短路。
方法：a.周维护时，双手持石英勾，由于石英器件容易破裂，故而需要小心轻放，在炉管内时请勿用石英
勾勾头碰炉管壁，以免破裂.由于周维护时不降温，因而需要戴好高温手套等防护用品。
b.月维护时，先降温，后用石英勾清理完毕，再用吸尘器吸干净。清理过程中同样注意小心轻放，
勿撞到管壁。
5 应急处理
5.1如果发生报警，应马上报告工序长，如果工序长不能解决，再通知设备人员。注意，不要随便删除报警
信息。
5.2当设备发生火灾，特气泄漏时，请立即按压设备急停红色按钮和关闭位于真空房外的特气阀。如火灾
不能控制，请及时拨打“119”报火警，并报告领导人员。
5.3当冷却水漏水不可控制时，请立即关闭冷却水总阀，停止工艺运行，联系设备人员。 5.4当冷却水微漏，氮气或压缩空气泄漏时，请联系设备人员。
6.参考文件
《PECVD Operating Instruction V1.0》 《CMI手册》
