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专利名称：一种提高薄膜太阳能电池薄膜均匀性的方法专利类型：发明专利
发明人：徐根保,刘小雨,魏小涛,陈涛,张鑫根申请号：CN2019112790.9申请日：20191216公开号：CN110819963A公开日：20200221
摘要：本发明公开一种提高薄膜太阳能电池薄膜均匀性的方法，包括以下步骤：a、在溅射腔室内，沿基底传送方向间隔设置一组光电探测器，光电探测器用于检测镀膜基底传送时的位置；光电探测器与生产线PLC相连，PLC与镀膜溅射电源相连控制镀膜溅射功率；b、取测试基底置于溅射腔室内在测试基底表面溅镀薄膜；c、沿测试基底传送方向测量步骤b得到薄膜的厚度，并分析沿测试基底传送方向各个薄膜位置与镀膜溅射功率的对应关系曲线；d、取溅射基底置于溅射腔室内，PLC根据溅射基底的位置、同时结合步骤c得到的对应关系曲线控制镀膜溅射功率增大或减小，使溅射基底上的薄膜厚度保持均匀。
申请人：凯盛光伏材料有限公司
地址：233010 安徽省蚌埠市高新区燕南路1001号
国籍：CN
代理机构：安徽省蚌埠博源专利商标事务所
代理人：陈俊
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