一种三氯氢硅合成尾气的处理方法及装置

（12）发明专利说明书

（21）申请号 CN200910260581.1 （22）申请日 2009.12.21

（71）申请人 重庆大全新能源有限公司

地址 404000 重庆市万州区龙都大道666号

（10）申请公布号 CN102100998B

（43）申请公布日 2013.03.20

（72）发明人 周强民

（74）专利代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司

代理人 魏晓波

（51）Int.CI

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

一种三氯氢硅合成尾气的处理方法及装置

（57）摘要

本发明提供一种三氯氢硅合成尾气的

处理方法，包括：使用氯硅烷吸收制备三氯氢硅产生的合成尾气得到氯硅烷吸收液，所述合成尾气包括HCl、SiHCl 法律状态

法律状态公告日

2011-06-22 2011-08-03 2013-03-20 2016-03-09

公开

实质审查的生效 授权

专利申请权、专利权的转移

法律状态信息

公开

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专利申请权、专利权的转移

权利要求说明书

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说明书

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