TBAF脱去SEM的机理是通过氧化性的四氟硼酸铵(TBAF)在DMSO或THF中加热反应，将SEM上的保护基与硅醇基脱除，生成醚键和硅醇。由于TBAF具有强氧化性，它可以从硅醇中脱去保护基，而不影响硅碳键的存在。同时，TBAF本身也具有亲核性，可以与SEM的保护基反应，形成四氟硼酸酯。因此，TBAF是一种高效的SEM脱除试剂。
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